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技�(shù)天地

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中華人民共和國國家標(biāo)�(zhǔn)：電子級水（GB/T 11446.1-2013�

�(fā)布時間：2016-12-20 11:14:40來源�純水�(shè)�瀏覽次數(shù)�29862

電子級水
 
1 范圍
GB/T 11446 的本部分�(guī)定了電子級水的級別、技�(shù)指標(biāo)要求、試驗方法和檢測�(guī)��
本部分使用與電子和半�(dǎo)體工�(yè)永高純清洗用��

2 �(guī)范性引用文�
下列文件對于本文件的�(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文�，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其新版本（包括所有的修改單）適用于本文件�
GB/T 11446.3-2013 電子級水測試方法通則
GB/T 11446.4-2013 電子級水電阻率的測試方法
GB/T 11446.5-2013 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法
GB/T 11446.6-2013 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法
GB/T 11446.7-2013 電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方�
GB/T 11446.8-2013 電子級水中總有機碳的測試方法
GB/T 11446.9-2013 電子級水中微粒的儀器測試方�
GB/T 11446.10-2013 電子級水�(xì)菌總�(shù)的濾膜培�(yǎng)測試方法

3 �(shù)語和定義
下列�(shù)語和定義適用于本文件�

3.1
電子級水 electronic grade water
電子和半�(dǎo)體工藝過程中所用的高純��

3.2
電阻� resistivity
在規(guī)定溫度下�1cm3(正立方體)水溶液兩相對面之間測得的電阻值。通常用符號ρ表�，單位為歐姆厘米（Ω·cm�,純水的理論電阻率�18.3MΩ·cm(25�)�

3.3
全硅 total silicon
水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀�(tài)存在的硅的總��

3.4
可溶性硅 soluble silicon
以單一分子狀�(tài)存在于水中的溶解性硅酸鹽�

3.5
微粒性物�(zhì) granular matter
除氣體外，以非液體分散在水中，并形成非均相混合物的物�(zhì)�

3.6
總有機碳 total organic carbon；TOC
水中以各種有機物形式存在的碳的總量。包括易被一般強氧化劑氧化的有機物和需用特殊方法氧化的有機��

3.7
吸附 absorption
某些多孔性粒狀物質(zhì)由于表面活性作用而具有吸著某些物�(zhì)的現(xiàn)象�

3.8
凝聚 coagulation
在源水中加入某種電解�(zhì)�，水中帶有電荷的膠體微粒被電解質(zhì)中的異種電荷中和，從而使其聚集成較大顆粒而沉降的�(xiàn)象�

3.9
絮凝 flocculation
水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集�(jié)為絮狀沉淀的現(xiàn)�。絮凝一般是再凝聚作用后緩慢�(jìn)�，可除去水中更細(xì)的微��

3.10
砂濾� sand filter
用于盛放不同直徑的砂�，以除去源水中懸浮固體和渾濁物的裝置�

3.11
活性碳過濾� activated carbon filter
裝有粒狀活性碳的過濾器，用于除去水中的可溶性有機物和過量的殘余��
 
3.12
離子交換 ion exchange
一種不溶性物�(zhì)與一種液體之間相互交換離子的可逆過程，該過程中物質(zhì)并無實質(zhì)性結(jié)�(gòu)變化�

3.13
離子交換樹脂 ion-exchange resin
一種合成的有機離子交換材料�

3.14
去離子水 deionized water
�(jīng)過離子交換處�，除去了呈離子形式的雜質(zhì)的高純水

3.15
再生 regeneration
離子交換過程操作循環(huán)中的一部分。在該部分中，用一定量的化�(xué)試劑通過離子交換樹脂使其恢復(fù)交換能力�

3.16
�(fù)合床 complex bed
將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩個離子交換柱�，將兩柱串聯(lián)，使水依次通過兩個柱而被純化�

3.17
混合� mixed bed
將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻，填充于同一離子交換柱中，其純化效果相當(dāng)于許多復(fù)合床串聯(lián)使用�

3.18
電滲� electrodialysis
一種分離水中離子的方法。在電滲析器中，陰陽兩極之間用交替排列的�、陽離子交換膜分割成一系列小室。水流通過小室�，在電流電場作用�，水中陽離子向陰極方向移�，但不能通過陽膜；陰離子則相�。這樣就形成相間存在的�、淡水室而達(dá)到提純水的目��

3.19
逆向滲� reverse osmosis
用半透膜將濃水和淡水隔開，并在弄水上施加比滲透壓更強的機械壓力，則濃水中大部分水透過半透膜而雜�(zhì)仍留在其�，達(dá)到分離提純的目的�

3.20
反滲透膜 reverse osmosis membrane
用于反滲透法制備純水的一種合成薄�，其孔徑一般為0.02μm或更�，可用于除去無機離子、有機物、細(xì)菌等，使水純��

3.21
微孔膜濾� membrane filter
一種平均孔徑（直徑）大�0.01μm的薄�，能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近�

3.22
超過� ultrafiltration
一種過濾方�，在一定壓力下使水流過超濾膜以除去水中的極�(xì)微粒、膠體和�(xì)菌等�

3.23
終端 terminal
高純水生�(chǎn)流程中經(jīng)過各道凈化工藝后，水的出口或使用地點�

3.24
無菌 sterile
不含任何活有機體（不論是活躍的或休眠的）�

3.25
PH
水溶液中氫離子活度的�(fù)對數(shù)或氫氧根離子活度倒數(shù)的負(fù)對數(shù)�

4 分類和標(biāo)�

4.1 分類
電子級水分為四個級別：Ⅰ級、Ⅱ�、Ⅲ�、Ⅳ��

4.2 �(biāo)�
Ⅰ級電子級水�(biāo)記為：EW-��
Ⅱ級電子級水�(biāo)記為：EW-��
Ⅲ級電子級水�(biāo)記為：EW-��
Ⅳ級電子級水�(biāo)記為：EW-��

 
5 要求
電子級水的技�(shù)指標(biāo)�(yīng)符合�1�(guī)��
�1 電子級水的技�(shù)指標(biāo)
項目技�(shù)指標(biāo)
EW-�EW-�EW-�EW-�
電阻率（25℃）/MΩ·cm�18
�5%時間不低�17�		�15
�5%時間不低�13�		�12�0.5
全硅/（μg/L���10�50�1000
微粒�(shù)/
（�/L�		0.05μm~0.1μm500---
0.1μm~0.2μm300---
0.2μm~0.3μm50---
0.3μm~0.5μm20---
�0.5μm4---
�(xì)菌個數(shù)/（�/mL��0.01�0.1�10�100
�/（μg/L��0.2���500
�/（μg/L��0.2���500
�/（μg/L��0.1���500
�/（μg/L��0.5���1000
鉀/（μg/L��0.5���500
�/（μg/L��0.1---
�/（μg/L��0.1---
�/（μg/L��---
�/（μg/L����10�1000
亞硝酸根/（μg/L��---
�/（μg/L��---
硝酸�/（μg/L�����500
磷酸�/（μg/L�����500
 
6 試驗方法

6.1 電阻�
電子級水的電阻率按GB/T 11446.4-013�(jìn)行測定�

6.2 全硅含量（以二氧化硅計）
電子級水全硅（以二氧化硅計）含量按GB/T 11446.6-2013�(jìn)行測��

6.3 微粒�(shù)
電子級水中微粒數(shù)按GB/T 11446.9-2013�(jìn)行測��

6.4 �(xì)菌總�(shù)
電子級水中細(xì)菌總�(shù)按GB/T 11446.10-2013�(jìn)行測定�

6.5 痕量金屬含量
電子級水中痕量金屬的含量按GB/T 11446.5-2013�(jìn)行測��
 
6.6 氟離子、氯離子、亞硝酸根離�、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含�
電子級水中氟離子、氯離子、亞硝酸根離�、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量按GB/T 11446.7-2013�(jìn)行測��

6.7 總有機碳含量
電子級水中總有機碳含量按GB/T 11446.8-2013�(jìn)行測定�

7 檢驗�(guī)�

7.1檢驗部門
電子級水的檢驗均�(yīng)在有資質(zhì)的檢驗部門�(jìn)��

7.2 檢驗分類
電子級水的檢驗分為交收檢驗和例行檢驗�

7.3交收檢驗
7.3.1 抽驗項目
電子級水中電阻率、鈉離子、全硅（以二氧化硅計）為交收檢驗項目�

7.3.2 合格判據(jù)
在用水終端采�，檢驗后檢驗�(jié)果如有一項或一項以上不合格�，應(yīng)再次采樣�(jīng)行檢�，如仍不合格，則該批不合格，�(yīng)提出改�(jìn)措施直到水質(zhì)合格�

7.4 例行檢驗（全檢項目）

7.4.1 檢驗項目
檢驗項目為表1�(guī)定的全部項目。檢驗順序應(yīng)以不影響后序?qū)嶒灲Y(jié)果的原則�(jìn)行檢��

7.4.2 不合格判�
在用水終端采樣后�(jìn)行例行檢驗，檢驗�(jié)果如有不合格項時，應(yīng)再次采樣�(jìn)行檢驗，如仍有不合格項時，應(yīng)提出改�(jìn)措施直到水質(zhì)合格�

7.4.3 檢驗頻次
例行檢驗至少每年�(jìn)行一次，�(dāng)制水條件�(fā)生變更時也應(yīng)�(jìn)行例行檢��

8 采樣、貯�、運輸及�(biāo)�

8.1采樣、貯存、運�
電子級水的采�、貯�、運輸應(yīng)符合GB/T 11446.3-2013的規(guī)��

8.2 �(biāo)�
在用水終端采樣�(jìn)行檢驗時，水�(zhì)合格后應(yīng)附有檢驗合格證，合格證應(yīng)包含如下�(nèi)容：
  1. 名稱及級��
  2. 各項技�(shù)指標(biāo)�
  3. 制水單位�
  4. 供水日期�
  5. 檢驗員簽章及檢驗日期�