超純水設(shè)備系��(tǒng)技��(shù)指標(biāo)包括，��(jìn)水指��(biāo)，產(chǎn)水指��(biāo)，各級系��(tǒng)的��(jìn)出水指標(biāo)��，無論系��(tǒng)采用何種工藝，都要滿足以下��(jìn)水條件要��。一般系��(tǒng)��(jìn)水要求電��(dǎo)率要小于��500μs/cm，石英砂過濾��、活性炭過濾、超��、疊片過濾器的產(chǎn)水濁度要小于3NTU，一級反滲透的��(chǎn)水電��(dǎo)率小�� ��10μs/cm，二級反滲透的��(chǎn)水電��(dǎo)率小于≤5μs/cm，EDI��(chǎn)水電阻率大于��16MΩ·cm，拋光混床電阻率大于��18MΩ·cm,。對于有顆粒要求，或者有其他指標(biāo)要求，就要相��(yīng)的增加其他設(shè)��，以��(shí)��(xiàn)目標(biāo)要求��

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