項(xiàng)目信息

工程名稱：多晶硅提純超純水項(xiàng)目

產(chǎn)水用途：硅片清洗

產(chǎn)水規(guī)模：25M3/H超純水

產(chǎn)水品質(zhì)：終端電阻率≥18MΩ/cm,TOC≤2PPB,溶解氧≤1PPB,二氧化硅≤2PPB，出水指標(biāo)達(dá)到美國ASTM-1水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。

系統(tǒng)工藝：MMF+ACF+2RO+EDI

項(xiàng)目地址：江蘇